溅射是在包括电子设备在内的各种场景中使用的重要技术。
但是,由于原理复杂,因此技术开发通常是凭经验进行的。关于如何建立和改进批量生产技术的概述不多。此外,在实践中差等特点,附着力不足,外观变差,生产力低下等,这是很常见的各种导致规范的麻烦。
在本研讨会中,我们将遵循溅射原理,追求对过程控制的理解。因此,可以提高故障现象的“基本问题解决能力”。此外,在课程的后半部分,我们将全面,具体地说明实践中的重要点,例如质量稳定,附着力改善和故障排除,以便您获得可以在实践中立即使用的知识。
1、溅射基础
(1)学习的薄膜技术的基本知识
(2)特性和溅射的用途
(3)的溅射装置的结构
(4)的溅射处理和辖的操作
2、溅射法的物理现象
(1)关于认识物理现象的重要性
(2)溅射的物理现象1(等离子体放电)
(3)溅射的物理现象2(溅射)
(4)溅射的物理现象3(组织形成)
(5)的溅射的关系现象和控制参数
3、溅射薄膜评估/分析技术
(1)溅射薄膜需要哪些功能?
(2)测量薄膜厚度和形状,这是所有功能的基础
(3)测量各种特性以了解薄膜的性能。评估
(4)晶体结构评估,以阐明特征表现的机理
(5)元素/状态分析以阐明缺陷现象
(6)力学性能/附着力评估,以进行可靠性评估
4、稳定溅射薄膜的特性
(1)实现和稳定特性的两个问题
(2)了解特性和控制参数之间的含义
(3)了解工艺变化和波动因素
(4)工艺实时分析方法和数据分析示例
(5)稳定溅射薄膜特性的要点
(6)[案例]特征值恶化,变化增加,权衡
5、改善溅射薄膜的附着力和可靠性
(1)薄膜附着力和剥离的机理
(2)调查原因的分析程序
(3)改善和稳定附着力的具体方法
(4)薄膜的可靠性问题与对策
(5)[情况]粘合力不足,可靠性不足,粘合力下降
6、真空溅镀涂层的微小缺陷和异常外观的措施(1)溅镀薄膜的缺陷模式
(2)溅镀薄膜的目视检查和监视
(3)针孔和粘附的异物的调查和对策
(4)变色,皱纹和污点的原因调查与对策
(5)[情况]微小缺陷,异物,外观缺陷的数量增加
7、真空溅射工艺的生产率提高
(1)掌握溅射工艺的成本
(2)溅射工艺的成本提高方法
(3)溅射工艺的操作系统和运转率
(4)溅射工艺的运转率提高方法
(5)维护努力确保提高生产力的方法
8、溅射技术的改进
(1)溅射薄膜的开发要点
(2)溅射设备的引进和规模化
(3)真空溅射模拟技术
(4)引入创新的溅射工艺新技术