溅射是在包括电子设备在内的各种场景中使用的重要技术。

　但是，由于原理复杂，因此技术开发通常是凭经验进行的。关于如何建立和改进批量生产技术的概述不多。此外，在实践中差等特点，附着力不足，外观变差，生产力低下等，这是很常见的各种导致规范的麻烦。

　在本研讨会中，我们将遵循溅射原理，追求对过程控制的理解。因此，可以提高故障现象的“基本问题解决能力”。此外，在课程的后半部分，我们将全面，具体地说明实践中的重要点，例如质量稳定，附着力改善和故障排除，以便您获得可以在实践中立即使用的知识。

　1、溅射基础

　（1）学习的薄膜技术的基本知识

　（2）特性和溅射的用途

　（3）的溅射装置的结构

　（4）的溅射处理和辖的操作

　2、溅射法的物理现象

　（1）关于认识物理现象的重要性

　（2）溅射的物理现象1（等离子体放电）

　（3）溅射的物理现象2（溅射）

　（4）溅射的物理现象3（组织形成）

　（5）的溅射的关系现象和控制参数

　3、溅射薄膜评估/分析技术

　（1）溅射薄膜需要哪些功能？

　（2）测量薄膜厚度和形状，这是所有功能的基础

　（3）测量各种特性以了解薄膜的性能。评估

　（4）晶体结构评估，以阐明特征表现的机理

　（5）元素/状态分析以阐明缺陷现象

　（6）力学性能/附着力评估，以进行可靠性评估

　4、稳定溅射薄膜的特性

　（1）实现和稳定特性的两个问题

　（2）了解特性和控制参数之间的含义

　（3）了解工艺变化和波动因素

　（4）工艺实时分析方法和数据分析示例

　（5）稳定溅射薄膜特性的要点

　（6）[案例]特征值恶化，变化增加，权衡

　5、改善溅射薄膜的附着力和可靠性

　（1）薄膜附着力和剥离的机理

　（2）调查原因的分析程序

　（3）改善和稳定附着力的具体方法

　（4）薄膜的可靠性问题与对策

　（5）[情况]粘合力不足，可靠性不足，粘合力下降

　6、真空溅镀涂层的微小缺陷和异常外观的措施（1）溅镀薄膜的缺陷模式

　（2）溅镀薄膜的目视检查和监视

　（3）针孔和粘附的异物的调查和对策

　（4）变色，皱纹和污点的原因调查与对策

　（5）[情况]微小缺陷，异物，外观缺陷的数量增加

　7、真空溅射工艺的生产率提高

　（1）掌握溅射工艺的成本

　（2）溅射工艺的成本提高方法

　（3）溅射工艺的操作系统和运转率

　（4）溅射工艺的运转率提高方法

　（5）维护努力确保提高生产力的方法

　8、溅射技术的改进

　（1）溅射薄膜的开发要点

　（2）溅射设备的引进和规模化

　（3）真空溅射模拟技术

　（4）引入创新的溅射工艺新技术