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真空溅射涂层特性控制及质量/生产率的问题对策
编辑 :

佳达

时间 : 2020-04-28 13:30 浏览量 : 2

 溅射是在包括电子设备在内的各种场景中使用的重要技术。

 但是,由于原理复杂,因此技术开发通常是凭经验进行的。关于如何建立和改进批量生产技术的概述不多。此外,在实践中差等特点,附着力不足,外观变差,生产力低下等,这是很常见的各种导致规范的麻烦。

 在本研讨会中,我们将遵循溅射原理,追求对过程控制的理解。因此,可以提高故障现象的“基本问题解决能力”。此外,在课程的后半部分,我们将全面,具体地说明实践中的重要点,例如质量稳定,附着力改善和故障排除,以便您获得可以在实践中立即使用的知识。

 1、溅射基础

 (1)学习的薄膜技术的基本知识

 (2)特性和溅射的用途

 (3)的溅射装置的结构

 (4)的溅射处理和辖的操作

 2、溅射法的物理现象

 (1)关于认识物理现象的重要性

 (2)溅射的物理现象1(等离子体放电)

 (3)溅射的物理现象2(溅射)

 (4)溅射的物理现象3(组织形成)

 (5)的溅射的关系现象和控制参数

 3、溅射薄膜评估/分析技术

 (1)溅射薄膜需要哪些功能?

 (2)测量薄膜厚度和形状,这是所有功能的基础

 (3)测量各种特性以了解薄膜的性能。评估

 (4)晶体结构评估,以阐明特征表现的机理

 (5)元素/状态分析以阐明缺陷现象

 (6)力学性能/附着力评估,以进行可靠性评估

 4、稳定溅射薄膜的特性

 (1)实现和稳定特性的两个问题

 (2)了解特性和控制参数之间的含义

 (3)了解工艺变化和波动因素

 (4)工艺实时分析方法和数据分析示例

 (5)稳定溅射薄膜特性的要点

 (6)[案例]特征值恶化,变化增加,权衡

 5、改善溅射薄膜的附着力和可靠性

 (1)薄膜附着力和剥离的机理

 (2)调查原因的分析程序

 (3)改善和稳定附着力的具体方法

 (4)薄膜的可靠性问题与对策

 (5)[情况]粘合力不足,可靠性不足,粘合力下降

 6、真空溅镀涂层的微小缺陷和异常外观的措施(1)溅镀薄膜的缺陷模式

 (2)溅镀薄膜的目视检查和监视

 (3)针孔和粘附的异物的调查和对策

 (4)变色,皱纹和污点的原因调查与对策

 (5)[情况]微小缺陷,异物,外观缺陷的数量增加

 7、真空溅射工艺的生产率提高

 (1)掌握溅射工艺的成本

 (2)溅射工艺的成本提高方法

 (3)溅射工艺的操作系统和运转率

 (4)溅射工艺的运转率提高方法

 (5)维护努力确保提高生产力的方法

 8、溅射技术的改进

 (1)溅射薄膜的开发要点

 (2)溅射设备的引进和规模化

 (3)真空溅射模拟技术

 (4)引入创新的溅射工艺新技术


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