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一种真空电弧喷镀装置
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佳达

时间 : 2020-08-13 22:46 浏览量 : 27

 真空电弧喷镀装置,包括真空电弧炉、整流器、真空系统和控制系统,真空电弧炉由炉体和炉盖构成,炉体和炉盖形成真空室,炉体里设有阴极、阳极、引火锤,和工件夹 具,阴极位于真空室的中央,阳极位于阴极周围,引火锤位于阴极旁,工件夹具位于阴极和阳极之 间,其特征在于:所述控制系统采用可编程控制 器,接点PBI连接真空系统电源和整流器电源接点 S5连接阴极线圈,接点S7连接工件夹具偏压电 源,接点连接整流器,接点连接引弧锤电源, 接点PBZ连接真空系统电源和整流器电源,接点 511连接炉盖上升线圈。该装置的优点在于:具有 工作状态显示、故障显示和报警装置,简化控制方 式,提高运行可靠性,使用和操作方便。

 1、一种真空电弧喷镀装置,主要包括真空电弧炉(1)、整流器(2)、真 空系统(3)和控制系统(4),真空电弧炉(l)由炉体(n)和炉盖(12)构 成,炉体(11)和炉盖(12)形成真空室,炉体(11)里设有阴极(13)、阳极 (14)、引火锤(15)和工件夹具(16),阴极(13)位于真空室的中央,阳极 (14)位于阴极(13)周围,引火锤(15)位于阴极(13)旁,工件夹具(16) 位于阴极(13)和阳极(14)之间,其特征在于:所述控制系统(4)采用可编 程控制器,l)其常开接点PBI连接真空系统(3)电源和整流器(2)电源,2) 常开接点s5连接阴极(13)线圈,3)常开接点s7连接工件夹具(16)偏压电 源,4)常开接点s9连接整流器(2),5)常开接点510连接引弧锤(巧)电源, 6)常闭接点PBZ连接真空系统(3)电源和整流器(2)电源,7)常开接点511 连接炉盖(12)上升线圈。 2、按照权利要求1所述的真空电弧喷镀装置,其特征在于:所述可编程 控制器由中央处理器和输入输出模块组成。 3、按照权利要求2所述的真空电弧喷镀装置,其特征在于:所述输出模 块与被控制器件之间接有中间控制电路,即继电器控制电路。一种真空电弧喷镀装置 技术领域 本实用新型涉及真空电弧镀设备的控制技术。 背景技术 原真空电弧喷镀设备是用来对小型部件(叶片)进行真空电弧喷镀的专用 工艺设备,工艺先进;采用继电器控制方式,大量的分离件,结构复杂庞大、技术落后。新型的目的是提供一种工作逻辑程序化、操作简便、维护方便的真空电弧喷镀设备。


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