真空技术和真空成膜技术是极其重要的技术，广泛用于半导体和机械零件等电子设备的表面功能化。预计它将越来越多地用于未来引起关注的领域，例如医疗设备，家用电器，汽车和航空航天。

　近年来，由于设备和材料的显着进步，薄膜技术已达到高质量。但是，薄膜的技术要求也在增加。如果您开发新的应用程序或薄膜结构并尝试批量生产，则很容易出现质量问题。为了真正掌握具有高潜力的真空沉积技术，有必要了解真空沉积的原理和高质量的基础知识，以在防止缺陷的同时实现高特性和高性能。

　在本课程中，我们将介绍真空技术和薄膜技术的基础知识，以及各种薄膜技术的原理，并解释从薄膜设计到质量改进和缺陷对策的要点。

　在下半年，我们将介绍薄膜技术的应用示例以及技术原理的说明，重点关注将来会引起关注的领域，例如医疗设备，家用电器，建筑材料，汽车和航空航天。应用领域正在无限扩大，例如用塑料代替金属和玻璃，用仿生物增加表面功能，以及有望用于物联网的薄膜电池，传感器和设备。我们希望这将对新时代制造必不可少的薄膜技术的开发和利用有所帮助。

　1、薄膜形成的基本知识

　1.1什么是薄膜？定义，性质，功能

　1.2薄膜生长工艺和真空技术的基础

　1.3真空沉积方法的原理

　1.4溅射方法的原理

　1.5化学气相沉积（CVD）方法原理

　1.6薄膜预处理和后处理的目的和原理

　1.7

　薄膜设计和开发的进行方式1.8薄膜特性和可靠性的评估

　2、薄膜制造过程的质量控制和过程的复杂性

　2.1薄膜质量与理化现象之间的关系

　2.2薄膜质量分析-结构观察，成分分析，晶体分析

　-2.3特征不稳定的原因和对策

　2.4薄膜过程监视和稳定的提示

　2.5外观不良和微缺陷的原因和对策

　2.6附着力和可靠性不佳的原因和对策

　2.7降低薄膜工艺成本的理论

　2.8 提高成膜设备生产能力的方法

　3、薄膜技术应用的发展趋势

　3.1改变装饰，着色和光学功能的结构膜

　3.2仿生薄膜

　（非反射，超疏水/亲水，亲水，胶粘，润滑，空气动力学等）实现特殊的表面功能

　3.3建材/航空?应用于外部空间的热/电磁波控制薄膜

　3.4在汽车和FPD中正在应用的阻气薄膜

　3.5下一代移动电话及其组件的柔性薄膜

　3.6车载设备用透明导电膜的弯曲表面?柔性

　3.7可穿戴? IoT薄膜器件为关键

　3.8有机薄膜已从医学领域扩展到电子领域

　3.9 CVD / AD方法的发展有望实现VE