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离子镀不锈钢膜的特征
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佳达

时间 : 2020-08-19 16:30 浏览量 : 1

 离子镀不诱钢膜因能有效地提高工件表面的抗蚀性能而日益受到人们的重视。全面了解整个膜层的微观组织结构及相分布对研究膜层生长、相变及完善和改进工艺有重要的意义。对于膜层的微观组织研究一般多采用平面膜。这种观察方法有很大的局限性,不能对沉积过程中膜层内的组织结构、相分布有全面完整的观察。

 透射电镜进行横截面观察。以期了解从基体到膜层生长全貌及相组成,讨论了形成原因。实验选用钢为基体,作为蒸镀材料。将镀好的试样对接制成横截面样品。经机械减薄、化学减薄及离子减薄,最终制成直径的透射电镜样品。、离子镀不锈钢横截面微观组织。其中区为钢基体。整个镀层分两种形态不同的区域,通过电子衍射确定各区域相组成。靠近基体的致密的细等轴晶,约,经电子衍射确定为固溶体。此区域的形成是由于沉积开始时,基体温度较低,且表面缺陷较多,形核率较高,而到达基体的粒子数较少,生长率低,易形成细等轴晶。区为细纤维状晶,一直延续到膜层表面,且有逐渐变粗趋势。此区电子衍射结果表明,它是为主的固溶体并有少量的铁素体所组成。生长到此区后,基体温度升高,到达的粒子数增大,形核率减少。生长速率增大,出现细纤维状形态。至于靠近基体处为何形成铁素体,而远离基体处却形成以奥氏体为主的相区可能有以下两个原因:微区成分不同。由于的饱和蒸气压高,易蒸发,因此蒸镀初期膜层的含量较高。而为铁素体形成元素,促进铁素体形成。蒸镀后期蒸发源中含有较多难以蒸发的,等元素,它们为奥氏体形成元素。有利于奥氏体的形成。由于基体钢为铁素体。因此靠近基体处形成铁素体更有利于降低界面能。并于后一点我们将通过对比实验进一步证明。此外,蒸镀过程中温度变化也可能是原因之一。


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