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关于气相沉积的原理
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佳达

时间 : 2020-05-01 08:30 浏览量 : 2

 什么是气相沉积

 蒸发或升华要沉积的材料(气相沉积材料)并将其沉积在要气相沉积的材料(主要是玻璃或塑料基板)上是一种处理方法。

 电子束和电阻加热用作蒸发和升华方法。

 关于蒸镀材料,可以将熔点低的材料蒸镀成熔点为2000℃以上的物质。

 关于层数,可以制造从单层到100层以上的产品。

 当形成膜时,通常将其以约10 -3至10 -4 Pa的真空度气相沉积在真空容器中。

 在真空中进行气相沉积的原因是为了防止气相沉积材料受到大气中的气体分子的阻碍并且降低气相沉积材料的蒸发温度以促进气相沉积本身。

 相对于其他涂覆方法(溅射方法等)的优点在于,由于需要少量的气相沉积材料,因此即使对于新的气相沉积材料,初始成本也很低,使其适合于开发和试生产。

 除了真空沉积设备外,我们还有用于离子辅助和等离子体辅助的设备,因此可以增强附着力,致密性和可重复性的效果。


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